等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體進(jìn)行表面處理的設(shè)備。其核心原理是在真空或大氣壓環(huán)境下，通過(guò)能量激勵(lì)將工藝氣體電離形成等離子體。這種等離子體由離子、電子、自由基和光子等活性粒子組成，通過(guò)這些活性粒子與材料表面發(fā)生物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)，達(dá)到清洗、活化、刻蝕等表面處理目的。

　　主要特點(diǎn)：

　　1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù)

　　2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性

　　3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu)，帶有觀察窗，材料為6061材質(zhì)

　　4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料

　　5.電容式（CCP）激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛

　　6.觸摸屏+內(nèi)置計(jì)算機(jī)顯示控制,手動(dòng)自動(dòng)兩種模式任意切換

　　7.程序化設(shè)計(jì)，預(yù)先編輯好程序，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)

　　8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng)，使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團(tuán)

　　9.無(wú)需任何耗材，使用成本低，無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù)，在日常使用中保持儀器清潔即可

　　技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

　　主要應(yīng)用：

　　1.表面清潔2.表面活化3.鍵合4.去膠5.金屬還原6.簡(jiǎn)單刻蝕7.去除表面有機(jī)物8.疏水實(shí)驗(yàn)9.沉積實(shí)驗(yàn)10.形成新的基團(tuán)11.鍍膜前處理等

　　處理機(jī)理分析：

　　1.物理作用機(jī)制

　　離子轟擊效應(yīng)；濺射去除污染物；表面微觀粗化

　　2.化學(xué)作用機(jī)制

　　活性粒子化學(xué)反應(yīng)；污染物氧化分解；表面基團(tuán)修飾

　　3.物理化學(xué)協(xié)同作用

　　增強(qiáng)表面改性效果；提高處理效率；優(yōu)化處理質(zhì)量