SAT510真空等離子清洗機（Plasma）是一種利用低壓（真空）環境下產生的等離子體，對物體表面進行清洗、活化、蝕刻、涂覆等處理的干法式高科技設備。它徹底顛覆了傳統濕法化學清洗的方式，是一種高效、環保、無損傷的表面處理解決方案。

　　主要特點：

　　1.實時檢測和顯示真空度,使得機器在智能控制下有了可靠的依據.

　　2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.

　　3.真空腔體采用鉸鏈側開門結構,帶有觀察窗,材料為6061材質.

　　4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

　　5.電容式（CCP）激發,實驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

　　6.觸摸屏+內置計算機顯示控制,手動自動兩種模式任意切換.

　　7.程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗.

　　8.利用氣體電離后產生的等離子體的反應活性與材料表面發生的物理或者化學反應，使材料表面成分、組成和結構發生變化，并能得到某些特定的基團。

　　9.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。

　　主要應用：1.表面清潔2.表面活化3.鍵合4.去膠5.金屬還原6.簡單刻蝕7.去除表面有機物8.疏水實驗9.沉積實驗10.形成新的基團11.鍍膜前處理等

　　技術規格參數：

　　核心優勢：

　　1.環保安全：不使用有毒有害化學溶劑，無廢水排放，是“綠色清洗”技術。

　　2.處理均勻：等離子體能夠無死角地包裹工件復雜表面，處理均勻性好。

　　3.處理精度高：作用深度僅在納米到微米級，不損傷材料本體性能。

　　4.多功能性：一臺設備通過更換氣體和參數，可實現清洗、活化、蝕刻等多種功能。

　　5.高效可控：過程全自動化，參數可精確控制，重復性好，適合大規模生產。